Исследование влияния условий формирования на микроструктуру молибденовых тонкопленочных тыльных контактов, используемых для создания биосенсоров

Abstract

В работе приведены результаты изучения структуры Мо покрытия, осаждаемого в качестве тыльного контакта методом ионно-ассистированного нанесения покрытия в условиях облучения собственными ионами. Такая методика нанесения покрытий обеспечивает перемешивание атомов подложки и атомов покрытия, отсутствие примесей ассистирующих газов в покрытии, позволяет получить высокую адгезию между осажденной пленкой и материалом подложки, а также получать проводящие слои меньшим количеством дефектов. Данный метод влияет на: структуру, плотность упаковки, адгезию, шероховатость поверхности, получаемого покрытия, позволяя повысить качество сенсорных систем, сформированных на тонкопленочном покрытии. The paper presents the results of studying the structure of a Mo coating deposited as a back contact by the method of ion-assisted coating under conditions of irradiation with its own ions.