ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Факультеты
  3. Агроэнергетический факультет
  4. Научные публикации факультета
  5. Статьи из научных журналов
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12132
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorТульев, Валентин Валентинович-
dc.contributor.authorГременок, Валерий Феликсович-
dc.date.accessioned2021-02-25T11:50:48Z-
dc.date.available2021-02-25T11:50:48Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationСостав и нанотвердость покрытий на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения / И. С. Ташлыков [и др.] // Физика и xимия обработки материалов. - 2011. - N 1. - С. 66-70.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12132-
dc.description.abstractМетодом резерфордовского обратного рассеяния c компьютерным моделированием экспериментальных спектров исследован композиционный состав покрытий C, Ti, Zr и Mo на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения. Element composition of C, Ti, Zr, Mo coatings produced by ion-beam assisted deposition on Si substrate has been investigated using Rutherford backscattering and RUMP code simulation.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.subjectнанотвердостьru_RU
dc.subjectметод ионно-ассистированного осажденияru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectупрочнение покрытийru_RU
dc.subjectsiliconru_RU
dc.subjectcoatingsru_RU
dc.subjectelement compositionru_RU
dc.subjectnanohardnessru_RU
dc.titleСостав и нанотвердость покрытий на Si, полученных методом ионно-ассистированного осажденияru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.211:539.621:621.793-
dc.relation.bookФизика и xимия обработки материаловru_RU
Располагается в коллекциях:Статьи из научных журналов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
sostav-i-nanotverdost-pokrytij-na-si-poluchennyh-metodom-ionno-assistirovannogo-osazhdeniya.pdfС. 66-70194,23 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.