Просмотр собрания по группе - Ключевые слова ионно-ассистированное нанесение тонких пленок
Результаты с 1 по 1 из 1
| Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
|---|---|---|
| 2007 | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок | Ташлыков, Игорь Серафимович; Барайшук, Сергей Михайлович; Михалкович, Олег Михайлович |