Просмотр собрания по группе - Ключевые слова ионно-ассистированное осаждение покрытий
Результаты с 4 по 4 из 4
< назад
Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
---|---|---|
2007 | Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении покрытий | Ташлыков, Игорь Серафимович; Барайшук, Сергей Михайлович; Михалкович, Олег Михайлович |