Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20586Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Wiertel, M. | - |
| dc.contributor.author | Budzynski, M. | - |
| dc.date.accessioned | 2024-01-09T11:26:30Z | - |
| dc.date.available | 2024-01-09T11:26:30Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | - |
| dc.identifier.citation | Барайшук, С. М. Диагностика поверхности кремния с осажденным структурами для газовых сенсоров на основе диоксида молибдена / С. М. Барайшук, M. Wiertel, M. Budzynski // Фундаментальные и прикладные проблемы физики полупроводников, микро- и наноэлектроники : материалы II Международной конференции, посвященной 80-летию Академии наук Республики Узбекистан и памяти академика Т.М.Муминова, Ташкент, 27-28 октября 2023 г. - Ташкент : НИИ ФПМ при НУУз, 2023. - С. 50-52. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20586 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | НИИ ФПМ при НУУз | ru_RU |
| dc.subject | газовые сенсоры | ru_RU |
| dc.subject | диоксид молибдена | ru_RU |
| dc.subject | плазменное напыление | ru_RU |
| dc.title | Диагностика поверхности кремния с осажденным структурами для газовых сенсоров на основе диоксида молибдена | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 621.791.927.55 | - |
| dc.relation.book | Фундаментальные и прикладные проблемы физики полупроводников, микро- и наноэлектроники : материалы II Международной конференции, посвященной 80-летию Академии наук Республики Узбекистан и памяти академика Т.М.Муминова, Ташкент, 27-28 октября 2023 г. | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2023 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| diagnostika-poverhnosti-kremniya-s-osazhdennym-strukturami-dlya-gazovyh-sensorov-na-osnove-dioksida-molibdena.pdf | С. 50-52 | 355,16 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.