Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20586| Название: | Диагностика поверхности кремния с осажденным структурами для газовых сенсоров на основе диоксида молибдена |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Wiertel, M. Budzynski, M. |
| Ключевые слова: | газовые сенсоры диоксид молибдена плазменное напыление |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | НИИ ФПМ при НУУз |
| Библиографическое описание: | Барайшук, С. М. Диагностика поверхности кремния с осажденным структурами для газовых сенсоров на основе диоксида молибдена / С. М. Барайшук, M. Wiertel, M. Budzynski // Фундаментальные и прикладные проблемы физики полупроводников, микро- и наноэлектроники : материалы II Международной конференции, посвященной 80-летию Академии наук Республики Узбекистан и памяти академика Т.М.Муминова, Ташкент, 27-28 октября 2023 г. - Ташкент : НИИ ФПМ при НУУз, 2023. - С. 50-52. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20586 |
| УДК: | 621.791.927.55 |
| Располагается в коллекциях: | 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| diagnostika-poverhnosti-kremniya-s-osazhdennym-strukturami-dlya-gazovyh-sensorov-na-osnove-dioksida-molibdena.pdf | С. 50-52 | 355,16 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.