ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2022
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/17817
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМельникова, Александра Сергеевна-
dc.contributor.authorГолосов, Д. А.-
dc.contributor.authorШевченок, Александр Аркадьевич-
dc.contributor.authorДолгий, Валерий Казимирович-
dc.date.accessioned2023-02-22T09:44:13Z-
dc.date.available2023-02-22T09:44:13Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationДиагностика поверхности пленок на основе Ti и V для сенсорных элементов = Diagnostics of the surface of films based on Ti and V for sensor elements / С. М. Барайшук [и др.] // Материалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г. - Минск : БГУ, 2022. - С. 21-26.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/17817-
dc.description.abstractПроведены исследования топографии пленок оксида ванадия осажденных на Si3N4/Si с предварительным осаждением Ti тыльного электрода и без него. Показано, что процессы формирования зеренной структуры наблюдаются при температурах более 300 °С. The topography of vanadium oxide films deposited on Si3N4/Si with and without preliminary Ti deposition of the rear electrode was studied. It is shown that the processes of grain structure formation are observed at temperatures above 300 °C.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУru_RU
dc.subjectсенсорыru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectтопография поверхностейru_RU
dc.subjectмагнетронное распылениеru_RU
dc.subjectтыльные контактыru_RU
dc.subjectsensorsru_RU
dc.subjectthin filmsru_RU
dc.subjectsurface topographyru_RU
dc.subjectmagnetron sputteringru_RU
dc.subjectrear contactru_RU
dc.titleДиагностика поверхности пленок на основе Ti и V для сенсорных элементовru_RU
dc.title.alternativeDiagnostics of the surface of films based on Ti and V for sensor elementsru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539-
dc.relation.bookМатериалы и структуры современной электроники : материалы X Международной научной конференции, Минск, 12-14 октября 2022 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2022

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
diagnostika-poverhnosti-plenok-na-osnove-ti-i-v-dlya-sensornyh-ehlementov.pdfС. 21-261,35 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.