Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | - |
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.date.accessioned | 2021-05-21T06:26:33Z | - |
dc.date.available | 2021-05-21T06:26:33Z | - |
dc.date.issued | 2004 | - |
dc.identifier.citation | Бобрович, О. Г. Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий / О. Г. Бобрович, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г. - Минск : БГУ, 2004. - С. 118-121. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12873 | - |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГУ | ru_RU |
dc.subject | дефектообразование | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированные осаждения | ru_RU |
dc.subject | металлосодержащие покрытия | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | металлопокрытия | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
dc.title | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном осаждении металлопокрытий | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 544.022 | - |
dc.relation.book | Вузовская наука, промышленность, международное сотрудничество : сборник научных трудов V Международной научно-практической конференции, Минск, 13-15 октября 2004 г. | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | 2004 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Bobrovich, O. G. Defektoobrazovanie v kremnii pri ionno-assistirovannom osazhdenii metallopokrytij.pdf2004.pdf | С. 118-121 | 1,36 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.