Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12593Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-04-15T12:32:30Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-15T12:32:30Z | - |
| dc.date.issued | 2013 | - |
| dc.identifier.citation | Михалкович, О. М. Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 10-й Международной конференции, Минск, 24-27 сентября 2013 г. - Минск : БГУ, 2013. - С. 316-319. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12593 | - |
| dc.description.abstract | В работе обсуждаются композиционный состав, повреждение структуры поверхности (100) Si, диффузионные процессы на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния методом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами, топография поверхности полученных структур, ее смачиваемость водой, а также нанотвердость. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | титановые и кобальтовые покрытия | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.subject | композиционный состав поверхности | ru_RU |
| dc.subject | топография | ru_RU |
| dc.subject | смачиваемость водой | ru_RU |
| dc.subject | нанотвердость | ru_RU |
| dc.title | Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| dc.identifier.udc | 539.23 | - |
| dc.relation.book | Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 10-й Международной конференции, Минск, 24-27 сентября 2013 г. | ru_RU |
| Располагается в коллекциях: | 2013 | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Mihalkovich, O. M. Kompozicionnyj sostav i svojstva poverhnosti sistem Me.pdf2013.pdf | С. 316-319 | 2,48 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.