Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12593| Название: | Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами |
| Авторы: | Михалкович, Олег Михайлович Барайшук, Сергей Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | титановые и кобальтовые покрытия кремниевая подложка композиционный состав поверхности топография смачиваемость водой нанотвердость |
| Дата публикации: | 2013 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Михалкович, О. М. Композиционный состав и свойства поверхности систем Ме/Si, получаемых осаждением тонких пленок Ti и Co при ассистировании собственными ионами / О. М. Михалкович, С. М. Барайшук, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы 10-й Международной конференции, Минск, 24-27 сентября 2013 г. - Минск : БГУ, 2013. - С. 316-319. |
| Аннотация: | В работе обсуждаются композиционный состав, повреждение структуры поверхности (100) Si, диффузионные процессы на межфазной границе в системах Ме/Si при модифицировании кремния методом осаждения покрытий Ti и Co (Ме) при ассистировании собственными ионами, топография поверхности полученных структур, ее смачиваемость водой, а также нанотвердость. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12593 |
| УДК: | 539.23 |
| Располагается в коллекциях: | 2013 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Mihalkovich, O. M. Kompozicionnyj sostav i svojstva poverhnosti sistem Me.pdf2013.pdf | С. 316-319 | 2,48 MB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.