Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12565| Название: | Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович |
| Ключевые слова: | ионно-ассистированное нанесение тонких пленок дефектообразование кремний |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издательство: | БГПУ |
| Библиографическое описание: | Ташлыков, И. С. Дефектообразование в кремнии при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок / И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук, О. М. Михалкович // Актуальные проблемы физики твердого тела : сборник докладов Международной научной конференции, Минск, 23–26 октября 2007 г. - Минск : БГУ, 2007. - Т. 3. - С. 80–82. |
| Аннотация: | Обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения (ИАНПУС). |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12565 |
| УДК: | 539.37+539.23 |
| Располагается в коллекциях: | 2007 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykov, I. S. Defektoobrazovanie v kremnii pri ionno-assistirovannom nanesenii tonkih plenok.pdf | С. 80–82 | 890,99 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.