Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12132| Название: | Состав и нанотвердость покрытий на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Тульев, Валентин Валентинович Гременок, Валерий Феликсович |
| Ключевые слова: | нанотвердость метод ионно-ассистированного осаждения кремний упрочнение покрытий silicon coatings element composition nanohardness |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание: | Состав и нанотвердость покрытий на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения / И. С. Ташлыков [и др.] // Физика и xимия обработки материалов. - 2011. - N 1. - С. 66-70. |
| Аннотация: | Методом резерфордовского обратного рассеяния c компьютерным моделированием экспериментальных спектров исследован композиционный состав покрытий C, Ti, Zr и Mo на Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения. Element composition of C, Ti, Zr, Mo coatings produced by ion-beam assisted deposition on Si substrate has been investigated using Rutherford backscattering and RUMP code simulation. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12132 |
| УДК: | 539.211:539.621:621.793 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| sostav-i-nanotverdost-pokrytij-na-si-poluchennyh-metodom-ionno-assistirovannogo-osazhdeniya.pdf | С. 66-70 | 194,23 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.