Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12131| Название: | Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Co)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний |
| Авторы: | Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, Игорь Серафимович Тульев, Валентин Валентинович Барайшук, Сергей Михайлович |
| Ключевые слова: | металлосодержащие покрытия метод ионно-ассистированного осаждения кремний ядерно-физические методы покрытия |
| Дата публикации: | 2006 |
| Библиографическое описание: | Изучение ядерно-физическими методами металлосодержащих (Ti, Co)-покрытий, осажденных методом ионного ассистирования на кремний / О. Г. Бобрович [и др.] // Физика и xимия обработки материалов. - 2006. - N 1. - С. 54-58. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12131 |
| УДК: | 539.1.06:539.23.234 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| izuchenie-yaderno-fizicheskimi-metodami-metallosoderzhashchih-ti-co-pokrytij-osazhdennyh-metodom-ionnogo-assistirovaniya-na-kremnij.pdf | С. 54-58 | 273,54 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.