ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Факультеты
  3. Агроэнергетический факультет
  4. Научные публикации факультета
  5. Статьи из научных журналов
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБобрович, Олег Георгиевич-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorАнтонович, Игорь-
dc.date.accessioned2021-02-25T06:11:59Z-
dc.date.available2021-02-25T06:11:59Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.citationКомпозиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок = Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films / И. С. Ташлыков [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 5. - С. 92-95.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12102-
dc.language.isoruru_RU
dc.subjectтонкие пленкиru_RU
dc.subjectкремнийru_RU
dc.subjectионно-ассистированное нанесение покрытийru_RU
dc.subjectметаллосодержащие покрытияru_RU
dc.titleКомпозиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленокru_RU
dc.title.alternativeComposition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin filmsru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.211:539.1.06-
dc.relation.bookПоверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследованияru_RU
Располагается в коллекциях:Статьи из научных журналов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
kompozicionnyj-sostav-i-povrezhdenie-poverhnosti-kremniya-pri-ionno-assistirovannom-nanesenii-tonkih-plenok.pdfС. 92-95260,84 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.