Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Ташлыков, Игорь Серафимович | - |
dc.contributor.author | Бобрович, Олег Георгиевич | - |
dc.contributor.author | Барайшук, Сергей Михайлович | - |
dc.contributor.author | Михалкович, Олег Михайлович | - |
dc.contributor.author | Антонович, Игорь | - |
dc.date.accessioned | 2021-02-25T06:11:59Z | - |
dc.date.available | 2021-02-25T06:11:59Z | - |
dc.date.issued | 2009 | - |
dc.identifier.citation | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок = Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films / И. С. Ташлыков [и др.] // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - N 5. - С. 92-95. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12102 | - |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
dc.subject | кремний | ru_RU |
dc.subject | ионно-ассистированное нанесение покрытий | ru_RU |
dc.subject | металлосодержащие покрытия | ru_RU |
dc.title | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок | ru_RU |
dc.title.alternative | Composition and damage of silicon surface at ion assisted deposition of thin films | ru_RU |
dc.type | Article | ru_RU |
dc.identifier.udc | 539.211:539.1.06 | - |
dc.relation.book | Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования | ru_RU |
Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
kompozicionnyj-sostav-i-povrezhdenie-poverhnosti-kremniya-pri-ionno-assistirovannom-nanesenii-tonkih-plenok.pdf | С. 92-95 | 260,84 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.