Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12072| Название: | Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок |
| Другие названия: | Composition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixing |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович Антонович, Игорь |
| Ключевые слова: | топография кремний повреждение структуры кремния ионно-ассистированное нанесение покрытий модифицирование поверхностей silicon surface surface morphology |
| Дата публикации: | 2008 |
| Библиографическое описание: | Структура и повреждение кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением тонких пленок = Composition, structure and surface morphology of silicon modified by ion dynamic mixing / И. Ташлыков [и др.] // Przeglad elektrotechniczny. - 2008. - R. 84. - NR 3, P.P. 112–114. |
| Аннотация: | В настоящей работе обсуждаются результаты изучения композиционного состава, повреждения структуры, топографии поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным нанесением покрытий в условиях самооблучения. The composition, structure deterioration and morphology of silicon modifying by dynamic ion mixing in self-irradiating was investigated. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12072 |
| УДК: | 544 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи из научных журналов |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| struktura-i-povrezhdenie-kremniya-modificirovannogo-ionno-assistirovannym-naneseniem-tonkih-plenok.pdf | P. 112–114 | 400,43 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.