Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/20044| Название: | Изучение структуры излучающая пленка на основе MoSi2 на кремниевой подложке для формирования тонкопленочного ИК-излучателя газоанализатора |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович Долгий, Валерий Казимирович Шевченок, Александр Аркадьевич |
| Ключевые слова: | тонкие пленки структура поверхности структура излучающей пленки сенсоры тонкопленочные ИК-излучатели газоанализаторы композиционные покрытия MoSi2 плазменное напыление |
| Дата публикации: | 2023 |
| Издательство: | А. Н. Вараксин |
| Библиографическое описание: | Изучение структуры излучающая пленка на основе MoSi2 на кремниевой подложке для формирования тонкопленочного ИК-излучателя газоанализатора / С. М. Барайшук [и др.] // Актуальные проблемы физики твердого тела = Actual Problems of Solid State Physics (APSSP-2023) [Электронный ресурс] : сборник докладов Х Международной научной конференции, Минск, 22-26 мая 2023 г. - Минск : А. Н. Вараксин, 2023. - С. 274-277. |
| Аннотация: | В работе представлены исследования структуры покрытий на основе MoSi2 кремниевая подложка полученных комбинацией различных методов и режимов нанесения. Конструкции и состав полученных систем делают возможным их применение в качестве тонкопленочных ИК-излучателей на основе MoSi2 крайне важных, при создании оптических газоанализаторов построенных на принципе без дисперсионной ИК спектроскопии. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/20044 |
| УДК: | 539.216.2 |
| Располагается в коллекциях: | 2023 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| izuchenie-struktury-izluchayushchaya-plenka-na-osnove-mosi2-na-kremnievoj-podlozhke-dlya-formirovaniya-tonkoplenochnogo-ik-izluchatelya-gazoanalizatora-2.pdf | С. 274-277 | 2,13 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.