Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12950
Название: | Изучение состава покрытий на основе Mo, осажденных на кремний в условиях ионного ассистирования |
Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Ташлыков, Игорь Серафимович |
Ключевые слова: | ионно-ассистированное осаждение тонкие пленки радиационное ассистирование кремний саморадиация композиционный состав |
Дата публикации: | 2003 |
Издательство: | БНТУ |
Библиографическое описание: | Барайшук, С. М. Изучение состава покрытий на основе Mo, осажденных на кремний в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук ; науч. рук. И. С. Ташлыков // НИРС 2003 : сборник тезисов докладов VIII Республиканской научной конференции студентов и аспирантов, Минск, 9-10 декабря 2003 г. - Минск : БНТУ, 2003. - С. 167. |
URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12950 |
УДК: | 544.022 |
Располагается в коллекциях: | 2003 |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Barajshuk, S. M. Izuchenie sostava pokrytij na osnove Mo, osazhdennyh na kremnij v usloviyah ionnogo assistirovaniyaya.pdf | С. 167 | 69,47 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.