Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12937| Название: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок |
| Авторы: | Ташлыков, Игорь Серафимович Бобрович, Олег Георгиевич Барайшук, Сергей Михайлович Михалкович, Олег Михайлович Антонович, И. П. |
| Ключевые слова: | ионно-ассистированное нанесение тонкие пленки самооблучение кремний нанесение покрытий |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издательство: | Университетская книга |
| Библиографическое описание: | Композиционный состав и повреждение поверхности кремния при ионно-ассистированном нанесении тонких пленок / И. С. Ташлыков [и др.] // Тезисы докладов XXXVII международной конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами, Москва, 29-31 мая 2007 г. - Москва : Университетская книга, 2007. - С. 120. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12937 |
| УДК: | 539.211:539.1.06 |
| Располагается в коллекциях: | 2007 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Kompozicionnyj sostav i povrezhdenie poverhnosti kremniya pri ionno-assistirovannom nanesenii tonkih plenok.pdf | С. 120 | 142,05 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.