ISSN 2522-4468

  1. Репозиторий БГАТУ!
  2. Материалы конференций, сборники научных трудов
  3. Материалы республиканских конференций
  4. 2012
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://rep.bsatu.by/handle/doc/12578
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМихалкович, Олег Михайлович-
dc.contributor.authorТашлыков, Игорь Серафимович-
dc.contributor.authorБарайшук, Сергей Михайлович-
dc.date.accessioned2021-04-14T13:29:35Z-
dc.date.available2021-04-14T13:29:35Z-
dc.date.issued2012-
dc.identifier.citationМихалкович, О. М. Нанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хе / О. М. Михалкович, И. С. Ташлыков, С. М. Барайшук // Материалы и структуры современной электроники : сборник научных трудов V Международной научной конференции, Минск, 10–11 октября 2012 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2012. - С. 54–56.ru_RU
dc.identifier.urihttps://rep.bsatu.by/handle/doc/12578-
dc.description.abstractОбсуждаются результаты изучения композиционного состава, диффузионных процессов в Si при модифицировании осаждением Ti и Со покрытий в условиях ассистирования собственными ионами с энергией 7 кэВ, когда образцы кремния были предварительно облученными ионами ксенона и необлученными, а также изучения нанотвердости полученных структур.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИздательский центр БГУru_RU
dc.subjectSiru_RU
dc.subjectTiru_RU
dc.subjectСоru_RU
dc.subjectХеru_RU
dc.subjectионно-ассистированное осаждение покрытийru_RU
dc.subjectнанотвердостьru_RU
dc.subjectдиффузионные процессыru_RU
dc.subjectоблучение ионамиru_RU
dc.titleНанотвердость пленок и диффузия атомов Ti и Со в кремнии, модифицированном ионно-ассистированным осаждением покрытий в сочетании с облучением ионами Хеru_RU
dc.typeArticleru_RU
dc.identifier.udc539.2-
dc.relation.bookСборник научных трудов V Международной научной конференции «Материалы и структуры современной электроники». Минск, 10–11 октября 2012 г.ru_RU
Располагается в коллекциях:2012

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Mihalkovich, O. M. Nanotverdost' plenok i diffuziya atomov Ti i So v kremnii, modificirovannom ionno-assistirovannym osazhdeniem pokrytij v sochetanii s oblucheniem ionami He.pdfС. 54–56249,33 kBAdobe PDFЭскиз
Просмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.