Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://rep.bsatu.by/handle/doc/12574| Название: | Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования |
| Авторы: | Барайшук, Сергей Михайлович Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович |
| Ключевые слова: | ионное ассистирование топография поверхности нанотвердость поверхности кремний металлические покрытия шероховатость поверхности |
| Дата публикации: | 2009 |
| Издательство: | БГУ |
| Библиографическое описание: | Барайшук, С. М. Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования / С. М. Барайшук, В. В. Тульев, И. С. Ташлыков // Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 8-й Международной конференции, Минск, 23-25 сентября 2009 г. - Минск : Издательский центр БГУ, 2009. - С. 246-248. |
| Аннотация: | В статье обсуждаются результаты экспериментального исследования механических свойств поверхности кремния, модифицированного ионно - ассистированным осаждением Ti, Со, Zr, Мо покрытий. Методом наноиндентирования покрытий получены кривые нагрузка - разгрузка и на их основании вычислены твердость поверхности и эффективный модуль Юнга. Методом атомно - силовой микроскопии исследованы топография и шероховатость модифицированных поверхностей. |
| URI: | https://rep.bsatu.by/handle/doc/12574 |
| УДК: | 539.2 |
| Располагается в коллекциях: | 2009 |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Barajshuk, S. M. Nanotverdost' i topografiya poverhnosti kremniya s Ti, Co, Zr, Mo pokrytiyami, osazhdennymi v usloviyah ionnogo assistirovaniya.pdf | С. 246-248 | 425,78 kB | Adobe PDF |  Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.