Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий

Abstract

The article is devoted to investigation of mechanical properties of silicon surface modified by means of self ion assisted deposition of C, Ti, Mo coatings. The nanoindentation data from coated systems were used for calculation of the hardness and elastic modulus. Atomic Force Microscopy surface observations were used to investigate the topography of modified surfaces. Статья посвящена исследованию механических свойств поверхности кремния, модифицированной методом самоионно-ассистированного осаждения покрытий C, Ti, Mo. Данные наноиндентирования систем с покрытием использовались для расчета твердости и модуля упругости. Наблюдения за поверхностью с помощью атомно-силовой микроскопии использовались для исследования топографии модифицированных поверхностей.